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Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃

Artículo No.:
TOB-DSP-1200℃-PECVD
orden (moq):
1set
Pago:
L/C,T/T,Western Union, Paypal
origen del producto:
China
Puerto de embarque:
XIAMEN
Plazo de ejecución:
7days

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Detalle del producto

Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃

especificaciones

modelo	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii		tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii	tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv
poder	3kw	3kw		4kw	4kw
tamaño del tubo del horno (mm)	dia 60 (od) x1800mm	dia 80 (od) x1800mm		dia 100 (od) x1800mm	dia 120 (od) x1800mm
dimensión	1800x410x610	1800x410x610		1800x460x660	1800x460x660
tensión de alimentación	220v
número de fase	fase única
modo de control	control de temperatura de yudian 30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura pid. control de temperatura fp93 (de japón) (reemplace los instrumentos importados, por una tarifa adicional) El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas de grupo, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10, El control de 2,6 grupos pid, temperatura baja, media y alta puede cada uno con un conjunto de pid, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy preciso.
modo de control de temperatura	pid inteligente
protección y pantalla de desgaste	si
protección contra sobretemperatura	si
protección contra la sobretensión	si
precisión de control	+/- 1 ℃
desencadenar	disparador de cambio de fase
scr	106 / 16e alemania simon kang
la temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2	1200 ℃
la zona de temperatura 1.2 temperatura nominal	1150 ℃
velocidad de calentamiento	≤30 ℃ / min (disponible bajo solicitud de modificación)
velocidad de calentamiento recomendada	≤15 ℃ / min
tipo de termopar	tipo k
la longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1.2	205mm
temperatura de la superficie circundante	≤45 ℃
potencia de plasma rf	rango de salida de potencia		0-500w
	máxima potencia reflejada		10w
	frecuencia de señal		13.56mhz ± 0.005%
	ruido		& lt; 30 db
	aire acondicionado		método de enfriamiento
	potencia de entrada		208-240v 50 / 60hz
parámetros principales del sistema de suministro gx	rango estándar		controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (puedes elegir cualquier escala)
	exactitud		± 1.5%
	caída de presión		& lt; 0.01mpa
	repetibilidad		± 0.2% f.s
	max presión operacional		3mp
sistema de escape vs-0.1	fuente de alimentación		220v / 380v 380w
	velocidad de bombeo		2l / s
	medidor de resistencia al vacío		zdr-i
	rango de medición de vacío		0.1-10 5 pa
	bomba aspiradora		vrd-8
	tubo corrugado		kf25x1000mm
	Sistema de vacío		10 -1pa

correo electrónico : tob.amy@tobmachine.com

skype: amywangbest86

WhatsApp / número de teléfono: +86181 2071 5609

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