Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃

modelo

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-i

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-ii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iii

tob-dsp-1200 ℃

-pecvd-iv

poder

3kw

3kw

4kw

4kw

tamaño del tubo del horno (mm)

dia 60 (od) x1800mm

dia 80 (od) x1800mm

dia 100 (od) x1800mm

dia 120 (od) x1800mm

dimensión

1800x410x610

1800x410x610

1800x460x660

1800x460x660

tensión de alimentación

220v

número de fase

fase única

modo de control

control de temperatura de yudian

30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura pid.

control de temperatura fp93 (de japón)

(reemplace los instrumentos importados, por una tarifa adicional)

El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas de grupo, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10,

El control de 2,6 grupos pid, temperatura baja, media y alta puede cada uno con un conjunto de pid, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy preciso.

modo de control de temperatura

pid inteligente

protección y pantalla de desgaste

si

protección contra sobretemperatura

si

protección contra la sobretensión

si

precisión de control

+/- 1 ℃

desencadenar

disparador de cambio de fase

scr

106 / 16e alemania simon kang

la temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2

1200 ℃

la zona de temperatura 1.2

temperatura nominal

1150 ℃

velocidad de calentamiento

≤30 ℃ / min (disponible bajo solicitud de modificación)

velocidad de calentamiento recomendada

≤15 ℃ / min

tipo de termopar

tipo k

la longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1.2

205mm

temperatura de la superficie circundante

≤45 ℃

potencia de plasma rf

rango de salida de potencia

0-500w

máxima potencia reflejada

10w

frecuencia de señal

13.56mhz ± 0.005%

ruido

& lt; 30 db

aire acondicionado

método de enfriamiento

potencia de entrada

208-240v 50 / 60hz

parámetros principales del sistema de suministro gx

rango estándar

controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm

(puedes elegir cualquier escala)

exactitud

± 1.5%

caída de presión

& lt; 0.01mpa

repetibilidad

± 0.2% f.s

max

presión operacional

3mp

sistema de escape vs-0.1

fuente de alimentación

220v / 380v 380w

velocidad de bombeo

2l / s

medidor de resistencia al vacío

zdr-i

rango de medición de vacío

0.1-10 5 pa

bomba aspiradora

vrd-8

tubo corrugado

kf25x1000mm

Sistema de vacío

10 -1pa