Horno CVD de lecho fluidizado

Horno CVD de lecho fluidizado - TOB-1200-LTS-FB

Descripción general del producto y aplicaciones ideales

El TOB-1200-LTS-FB es un horno CVD de lecho fluidizado diseñado para experimentos de deposición de polvo en superficies. Un tubo de cuarzo de alta pureza contiene una placa de cuarzo porosa en su sección inferior; el polvo se deposita sobre dicha placa, se introduce gas desde la parte inferior del tubo y el flujo ascendente a través de la placa eleva las partículas, de modo que flotan dentro de la zona calentada mientras se produce la deposición.

El horno alcanza los 1200 °C en menos de una hora y mantiene una temperatura constante de 1150 °C, con una zona de calentamiento de 200 mm y una zona de temperatura constante de 100 mm. El tubo está disponible en diámetros de 25 mm o 50 mm con una longitud de 600 mm, y la placa porosa se fabrica según el tamaño de poro que requiera su polvo. Incluye de serie una carcasa de doble capa con refrigeración por aire, un cuerpo de horno dividido para facilitar el cambio de tubos, una protección de cuarzo para el tubo y una válvula de alivio de presión mecánica.

Ideal para:

• Deposición CVD sobre polvos que deben suspenderse individualmente en lugar de empaquetarse en una cama.
• Experimentos de recubrimiento donde el gas debe pasar uniformemente a través de toda la sección transversal del tubo.
• Cargas de pólvora dimensionadas para un tubo de Φ25 mm o Φ50 mm con una longitud de 600 mm.
• Procesos que requieren una temperatura máxima de 1200 °C con control de ±1 °C y una biblioteca de recetas de 15 programas.
• No apto para:gases de proceso corrosivos o ácidos (los daños causados ​​por estos quedan excluidos de la garantía), o polvos cuyo tamaño de partícula no puede ser fluidizado por la velocidad del gas disponible.

Envíenos el tipo de polvo, el tamaño de partícula y el recubrimiento deseado, y le confirmaremos el diámetro del tubo y las especificaciones de la placa porosa para su proceso.

Dónde encaja la CVD de lecho fluidizado en la investigación de recubrimientos en polvo

En un lecho empacado, las partículas se tocan entre sí y el gas busca los caminos de menor resistencia, por lo que el espesor del recubrimiento varía de una partícula a otra. Un lecho fluidizado elimina este problema al elevar las partículas mediante una corriente de gas ascendente, de modo que cada partícula queda expuesta al precursor en toda su superficie. La secuencia dentro de este horno es:

1. El polvo se carga sobre la placa de cuarzo porosa dentro del tubo de cuarzo, y el tubo se cierra con el conjunto de brida de acero inoxidable.
2. El gas de proceso se introduce en el extremo inferior del tubo y asciende a través de la placa porosa, que distribuye el flujo por toda la sección transversal del tubo.
3. Por encima de la velocidad de elevación, las partículas abandonan la placa y forman un lecho suspendido dentro de la zona de calentamiento de 200 mm, donde el precursor se descompone sobre sus superficies.
4. Tras enfriarse, se recupera el polvo recubierto abriendo la brida superior. La protección del tubo y la válvula de alivio de presión mecánica permanecen en su lugar durante todo el recorrido.

Dado que el tamaño de los poros de la placa determina tanto la caída de presión como la uniformidad de la distribución del gas, es la especificación que más influye en el resultado. Se ofrecen tamaños de poro de 4 a 550 μm, y la placa se fabrica bajo pedido.

Características de ingeniería clave del TOB-1200-LTS-FB

• Diseñado específicamente para la deposición de polvo:La placa de cuarzo porosa y la entrada de gas inferior están diseñadas para que las partículas queden suspendidas en la zona calentada, en lugar de simplemente depositadas en ella.
• Carcasa de doble capa con refrigeración por aire:La capa exterior se mantiene más fría que un horno de pared simple con la misma temperatura en la cámara.
• Cuerpo del horno dividido y abatible:La carcasa se abre para que se pueda sustituir el tubo de cuarzo sin necesidad de desmontar el horno.
• Protector de tubo de cuarzo:Un escudo protector alrededor del tubo evita lesiones si el cuarzo se rompe debido al vacío o a un choque térmico.
• Válvula mecánica de seguridad y alivio de presión:Protege contra la sobrepresión si la placa filtrante de cuarzo poroso se obstruye.
• Cámara de alúmina con recubrimiento de alta temperatura:Aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza con un recubrimiento de alúmina de alta temperatura importado de EE. UU. en la superficie de la cámara, para una mayor eficiencia de calentamiento y una vida útil más prolongada de la cámara.
• Elementos calefactores de aleación HRE:Alcanza los 1200 °C en menos de 1 hora, mantiene los 1150 °C de forma continua y tiene una precisión de ±1 °C con un termopar de tipo K.
• Conjunto de sellado de acero inoxidable:Conjunto de brida con doble junta tórica de silicona de serie, con bombas opcionales de hasta 5 × 10⁻¹ Pa (mecánicas) o 5 × 10⁻³ Pa (turbo).

Especificaciones completas

1. Cuerpo del horno y especificaciones térmicas

2. Tubo de cuarzo y placa porosa

3. Sistema de vacío y sellado

4. Dimensiones, peso y garantía

5. Consumibles y exclusiones de la garantía

Sistema de control

El controlador funciona con un sistema operativo integrado y una pantalla táctil a color de 7 pulgadas. Cuatro funciones son importantes para un trabajo repetible de CVD en polvo:

Las capturas de pantalla que aparecen a continuación siguen el orden de las filas anteriores: la biblioteca de curvas almacenadas, el editor de curvas, la interfaz conmutable, la corrección no lineal, el inicio programado y las dos alarmas de protección.

El controlador almacena 15 curvas de temperatura, por lo que no es necesario volver a introducir la receta en cada ejecución.

Pantalla de configuración de la curva de temperatura.

El sistema operativo integrado alterna entre chino e inglés en la pantalla táctil a color de 7 pulgadas.

Corrección no lineal de la temperatura de la muestra, utilizada para que la temperatura mostrada coincida con la temperatura medida de la muestra.

Inicio programado, una función opcional, para ejecuciones que deben comenzar a una hora determinada.

Alarma de sobretemperatura en la zona 1.

Sobretemperatura en la zona 1 con indicación de rotura del termopar.

Recomendaciones prácticas de funcionamiento

• Pida la placa porosa junto con el polvo, no después:El tamaño de los poros determina tanto la caída de presión a través de la placa como la uniformidad con la que se distribuye el gas, por lo que decide si el lecho se fluidizará al caudal que se le pueda suministrar.
• Planifique la estancia por debajo de la calificación continua:1200 °C es la temperatura máxima alcanzable, 1150 °C es la temperatura continua. Los tiempos de espera prolongados corresponden a 1150 °C o menos.
• Mantenga la rampa en o por debajo de 20 °C/min:Esa es la velocidad máxima de calentamiento para la que está especificado el horno, y también limita el choque térmico en el tubo de cuarzo.
• Nunca retire la protección del tubo ni la válvula de alivio:La protección contiene cuarzo en caso de que falle el tubo, y la válvula de alivio mecánica se abre si la placa porosa se bloquea y aumenta la presión.
• Compruebe la compatibilidad del gas antes de la carrera:Los daños causados ​​por gases corrosivos y ácidos quedan excluidos de la garantía, por lo que conviene confirmar que el gas de proceso es aceptable antes del primer ciclo de calentamiento.
• Abastecerse de consumibles:El elemento calefactor, el termopar y el crisol de muestras son consumibles y no están incluidos, por lo que conviene pedir los repuestos junto con el horno, en lugar de hacerlo después de una avería.
• Utilice las 15 curvas almacenadas como su biblioteca de recetas:Una única curva por proceso garantiza que el mismo proceso de recubrimiento sea reproducible entre diferentes operarios.

Preguntas frecuentes sobre ingeniería

P1. ¿Qué tubo debo elegir, de Φ25 mm o de Φ50 mm?

Ambos tubos se ofrecen con una longitud de 600 mm. El tubo más grande contiene más polvo por ensayo y proporciona una menor velocidad de gas con el mismo caudal volumétrico; el tubo más pequeño alcanza la velocidad de elevación con menos gas. Elija según el volumen de polvo que necesite por experimento y el caudal de gas que pueda suministrar.

P2. ¿Qué tamaño de poro debe tener la placa de cuarzo poroso?

A. Se ofrecen tamaños de poro de 4 a 550 μm y la placa se fabrica bajo pedido. El tamaño del poro debe ser lo suficientemente pequeño como para retener el polvo y lo suficientemente abierto como para permitir el paso del gas del proceso con una caída de presión adecuada, por lo que se especifica junto con el polvo y no por separado.

P3. ¿Qué temperatura alcanza y con qué rapidez se calienta?

A. Se pueden alcanzar 1200 °C en menos de 1 hora. La temperatura continua es de 1150 °C, la precisión de la temperatura es de ±1 °C en un termopar de tipo K y la velocidad máxima de calentamiento es de ≤20 °C/min.

P4. ¿Qué nivel de vacío se puede alcanzar?

A. Con un conjunto de bomba mecánica opcional, el sistema alcanza 5 × 10⁻¹ Pa; con un conjunto de turbobomba opcional, alcanza 5 × 10⁻³ Pa. El suministro estándar es el conjunto de brida de sellado de acero inoxidable con juntas tóricas dobles de silicona.

P5. ¿Qué sucede si la placa porosa se bloquea?

A. Como parte del conjunto de sellado estándar, se instala una válvula de alivio de presión mecánica, de modo que la presión acumulada por una placa de filtro de cuarzo obstruida se libera en lugar de quedar contenida. También se incluye de serie una protección para el tubo de cuarzo, de manera que una falla en el tubo no exponga al operador.

P6. ¿Puedo utilizar gases de proceso ácidos o corrosivos?

A. Los daños causados ​​por gases corrosivos y ácidos no están cubiertos por la garantía, por lo que cualquier gas de proceso ácido o corrosivo debe ser revisado con nosotros antes de que el horno se utilice con él.

P7. ¿Qué cubre la garantía y qué no está incluido?

A. Un año de garantía con soporte técnico de por vida. Las piezas consumibles —el elemento calefactor, el termopar, el crisol de muestra y elementos similares— no están incluidas, y se excluyen los daños causados ​​por gases corrosivos o ácidos.

P8. ¿Cuál es su tamaño y peso?

A. 510 mm × 430 mm × 1000 mm, con un peso neto de aproximadamente 35 kg. El horno está colocado verticalmente, por lo que el eje del tubo es vertical y el gas entra por la parte inferior.

Indíquenos el tipo de polvo, el tamaño de partícula y el recubrimiento que desea obtener. Le proporcionaremos el diámetro del tubo, el tamaño de poro de la placa porosa y el conjunto de bomba más adecuado para su aplicación.

tob.amy@tobmachine.com| +86 181 2071 5609

Revisado por:Pinery GongProceso de ensamblaje y rendimiento de baterías | Última actualización: 19/10/2026

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