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Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃
Categorías
Productos calientes
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Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃
Artículo No.:
TOB-DSP-1200℃-PECVDorden (moq):
1setPago:
L/C,T/T,Western Union, Paypalorigen del producto:
ChinaPuerto de embarque:
XIAMENPlazo de ejecución:
7days
Sistema de pecvd de doble zona de tipo deslizante de 1200 ℃
especificaciones
|
modelo |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-i |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-ii |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iii |
tob-dsp-1200 ℃ -pecvd-iv |
|
|
poder |
3kw |
3kw |
4kw |
4kw |
|
|
tamaño del tubo del horno (mm) |
dia 60 (od) x1800mm |
dia 80 (od) x1800mm |
dia 100 (od) x1800mm |
dia 120 (od) x1800mm |
|
|
dimensión |
1800x410x610 |
1800x410x610 |
1800x460x660 |
1800x460x660 |
|
|
tensión de alimentación |
220v |
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número de fase |
fase única |
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modo de control |
control de temperatura de yudian 30 secciones solo pueden usar la regulación de temperatura pid. control de temperatura fp93 (de japón) (reemplace los instrumentos importados, por una tarifa adicional) El control de temperatura del programa de 1,40 secciones se puede dividir en 4,2,1 programas de grupo, si el programa se divide en cuatro grupos, cada segmento de programa 10, El control de 2,6 grupos pid, temperatura baja, media y alta puede cada uno con un conjunto de pid, de modo que cada segmento es capaz de controlar la temperatura es muy preciso. |
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modo de control de temperatura |
pid inteligente |
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|
protección y pantalla de desgaste |
si |
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protección contra sobretemperatura |
si |
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|
protección contra la sobretensión |
si |
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precisión de control |
+/- 1 ℃ |
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desencadenar |
disparador de cambio de fase |
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scr |
106 / 16e alemania simon kang |
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la temperatura máxima de la zona de temperatura 1.2 |
1200 ℃ |
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la zona de temperatura 1.2 temperatura nominal |
1150 ℃ |
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velocidad de calentamiento |
≤30 ℃ / min (disponible bajo solicitud de modificación) |
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|
velocidad de calentamiento recomendada |
≤15 ℃ / min |
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tipo de termopar |
tipo k |
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la longitud de calentamiento de la zona de temperatura 1.2 |
205mm |
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|
temperatura de la superficie circundante |
≤45 ℃ |
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|
potencia de plasma rf |
rango de salida de potencia |
0-500w |
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máxima potencia reflejada |
10w |
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frecuencia de señal |
13.56mhz ± 0.005% |
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|
ruido |
& lt; 30 db |
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aire acondicionado |
método de enfriamiento |
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potencia de entrada |
208-240v 50 / 60hz |
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parámetros principales del sistema de suministro gx |
rango estándar |
controlador de flujo de protones 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm, 1,2,3,5,10slm (puedes elegir cualquier escala) |
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|
exactitud |
± 1.5% |
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|
caída de presión |
& lt; 0.01mpa |
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|
repetibilidad |
± 0.2% f.s |
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|
max presión operacional |
3mp |
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sistema de escape vs-0.1 |
fuente de alimentación |
220v / 380v 380w |
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|
velocidad de bombeo |
2l / s |
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medidor de resistencia al vacío |
zdr-i |
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|
rango de medición de vacío |
0.1-10 5 pa |
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bomba aspiradora |
vrd-8 |
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tubo corrugado |
kf25x1000mm |
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|
Sistema de vacío |
10 -1pa |
||||
correo electrónico : tob.amy@tobmachine.com
skype: amywangbest86
WhatsApp / número de teléfono: +86181 2071 5609
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